Þetta allt ferlið er að eiga sér stað í tómarúmi vegna þess að þessi bylgjulengdir ljóss eru svo stutt að jafnvel loft myndi gleypa þá. Auk þess EUVL notar íhvolfur og kúpt speglar húðuð með mörgum lögum af mólýbden og sílikon - þetta lag er hægt að endurspegla næstum 70 prósent af EUV ljósi á bylgjulengdinni 13,4 nanómetrar. Hin 30 prósent frásogast af speglinum. Án lag, að ljósið myndi vera nánast algerlega niðursokkinn áður ná obláta. Spegil yfirborð að vera næstum fullkominn, jafnvel litlum galla í húðun getur eyðilagt lögun Optics og bjaga prentuð hringrás mynstur, sem veldur vandamálum í flís virka.
Nánari upplýsingar um EUVL og málefni, skrá sig út the hlekkur á næstu síðu.
