Aðrar tegundir skönnun-Probe smásjár nota rannsaka sem eru viðkvæm fyrir rafstöðueiginleikar endurgjalds, varma starfsemi eða ákveðnum öðrum eiginleikum atóm og sameindir sem gera upp yfirborð sýnisins.
Saga smásjá
Sambyggðar optískar smásjár var fundin í Hollandi snemma 1600 er. Sumir sagnfræðingar hafa fært Zach-aríur Janssen með uppfinningu. Vegna erfiðleika í framleiðslu áreiðanlegar linsur, tækið var ekki mikið notað fyrr en á 19. öld. Á 17. öld, Anton van Leeuwenhoek, hollenskur líffræðingur, smíðað og notað framúrskarandi smásjár einn linsu. Með þessum tækjum, uppgötvaði hann bakteríur og frumdýrum.
Hugmyndin um sending rafeinda smásjá var þróað í Þýskalandi á 1920 og 1930 er. Ernst Ruska, þýskur vísindamaður, hluti 1986 Nóbelsverðlaun í eðlisfræði fyrir vinnu sína á tækinu. The skönnun rafeinda smásjá var þróað í Bandaríkjunum í 1960; Acoustic smásjá, í 1970. Í lok 1970, Gerd Binnig, West Þýska vísindamaður, og Heinrich Rohrer, svissneskur vísindamaður, þróaði skönnun göng smásjá, sem þeir deila með Ruska 1986 Nobel Prize í eðlisfræði.
